Metrix株式会社は、2026年11月に大阪で開催される
第46回ナノテスティングシンポジウム NANOTS 2026 に出展いたします。
商業展示に加え、商業セッションでの発表も行います。ぜひお立ち寄りください。
■ シンポジウム名
第46回 ナノテスティングシンポジウム（NANOTS 2026）
The 46th Annual NANO Testing Symposium
■ 開催日程
2026年11月10日（火）〜 12日（木）
■ 開催地
千里ライフサイエンスセンター（大阪府豊中市）
Senri-Life Science Center, Toyonaka, Osaka, JAPAN
■ 商業セッション発表（C13）
日時：2026年11月11日（水）12:17〜12:23
発表タイトル：
eSPMによる半導体デバイス・材料のナノスケール二次元電気特性
受託分析・コンサルティングサービス
■ 商業展示
展示番号：#20
会場：千里ルーム（6F）
展示日時：
11月10日（火）13:00〜17:00
11月11日（水） 9:30〜17:00
11月12日（木） 9:30〜16:00
【展示内容】
Metrixは、高分解能走査型プローブ顕微鏡（eSPM）を用いた
半導体デバイス・ナノ材料への電気特性高空間分解能可視化の受託分析・
コンサルティングサービスをご提供しています。
対応する計測手法：
・SSRM (Scanning Spreading Resistance Microscopy)（走査型拡がり抵抗顕微鏡）
・C-AFM (Conductive Atomic Force Microscopy)（導電性原子間力顕微鏡）
・SMM (Scanning Microwave Microscopy)（走査型マイクロ波顕微鏡）
・KFM (Kelvin Force Microscopy)（ケルビン・プローブ力顕微鏡）
適用デバイス・材料の範囲は半導体プロセスのFEOL・BEOLほぼ全域に及びます：
● メモリ（DRAM, NAND Flash等）
● ロジックデバイス（FinFET, GAA, CFET等 最先端ノード）
● VCSELなどレーザーデバイス
● CISなどイメージセンサー
● GaN/SiCを含むパワーデバイス（Power Devices）
● 太陽電池（Solar Cell）
● グラフェン・CNT（カーボンナノチューブ）を含む最先端配線材料
1nmレベルの空間分解能で半導体デバイスの2次元電気特性を可視化し、
ドーピング評価・キャリア分布・接合構造・抵抗マッピングなど、
プロセス開発から故障解析まで幅広くご支援いたします。
ご関心のある方は、ぜひブース（#20）にお越しください。
【NANOTS 2026 シンポジウム主題】
ナノテスティングシンポジウムは、ナノスケールの構造を持った
材料・デバイスのテスティング技術に関し、設計・プロセス・テスト・
装置分野の研究者が一堂に会し議論する場を提供することを目的として、
毎年開催されています。
主なスコープ：
● ナノテスティングのための先進設計手法（DFT, DFD, DFM, DFR, DFY）
● ナノテスティングのための先進プロセス技術
（ドーパント拡散、インライン計測、歩留り管理 等）
● 先進ナノテスティング（SOC, メモリ, アナログ, RF テスティング 等）
● 信頼性物理と信頼性工学
● 先進のICレベルのデバッグと診断
● デバッグと診断のための先進プロービング技術
● 故障解析のための物理・化学的特性評価
● 先進のテスティング装置・システム（TEM, SEM, FIB, 走査プローブ顕微鏡 等）
● ナノテスティングの事例
シンポジウム公式サイト：https://inanot.sakura.ne.jp/nanots/