C‑AFM
高感度かつ非破壊的計測によるゲート絶縁膜信頼性評価
フェムトアンペア（fA）オーダーの微小電流を検出。世界トップレベルの感度により、ゲート絶縁膜への電気的負荷を抑え、本来の故障メカニズムを維持したまま観察でき、ゲート絶縁膜信頼性フィジビリティ検証。
Fig. 1 Trap behaviors during degradation
Fig. 2 Evolution process from degradation to BD
ゲート絶縁膜の劣化メカニズムをCAFMプローブにより検証
C‑AFM
フェムトアンペア（fA）オーダーの微小電流を検出。世界トップレベルの感度により、ゲート絶縁膜への電気的負荷を抑え、本来の故障メカニズムを維持したまま観察でき、ゲート絶縁膜信頼性フィジビリティ検証。
Fig. 1 Trap behaviors during degradation
Fig. 2 Evolution process from degradation to BD