SSRM

市販および独自標準試料による定量化

低濃度領域標準試料による感度確認

10¹³～10¹⁸　低濃度領域標準試料による感度確認

10¹³～10¹⁸ 低濃度領域標準試料による感度確認 — N-type doping from 1e13 – 3e18 cm⁻³

SSRMが1013 cm-3 まで低濃度・高感度可能、パワーデバイス応用

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