SSRM
ロジックデバイス（SRAM）故障解析
pn 接合拡散異常やチャネル形成不良を SSRM により検出し、デバイス特性不良の真因特定に結び付けます。従来の 1D プロファイルでは見えない局所異常を抽出できます。
The plain view of the schematic layout and the cross-section of the picked-up SRAM
SSRM of the fail-bit pMOS and the schematic illustrates the origin of the Vth shift
Direct visulizaiont of failure of Vth due to the Phos. anomolous diffucion, figured out the room cause