SSRM

世界トップレベルの空間分解能

同様に活性化不純物を評価できるSCM（走査型容量顕微鏡）と比較しても、より高い空間分解能を有します。最先端の極微細構造においても、シャープなｐｎ接合境界のマッピングが可能です。