SSRM

パワーデバイス故障と拡散層分布相関（SiC/GaN）

トレンチ近傍の活性化キャリア分布確認

パワーデバイス応用(Si super junction)

パワーデバイス応用(Si super junction) — 耐圧不良品のSSRM結果からP領域先端濃度低下確認

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