Gallery
解析事例ギャラリー
C‑AFM・SSRM をはじめとする eSPM 解析の実測画像と事例をご覧いただけるギャラリーです。
各事例ページでは、より大きく鮮明な画像とともに、測定の背景・観察ポイント・解析の考え方をご紹介しています。
C‑AFM
高感度かつ非破壊的計測による標準試料とる定量評価
フェムトアンペア（fA）オーダーの微小電流を検出。世界トップレベルの感度により、ゲート絶縁膜への電気的負荷を抑え、本来の故障メカニズムを維持したまま観察でき、ゲート絶縁膜信頼性フィジビリティ検証。
C‑AFM
高感度かつ非破壊的計測によるゲート絶縁膜信頼性評価
フェムトアンペア（fA）オーダーの微小電流を検出。世界トップレベルの感度により、ゲート絶縁膜への電気的負荷を抑え、本来の故障メカニズムを維持したまま観察でき、ゲート絶縁膜信頼性フィジビリティ検証。
C‑AFM
抵抗変化メモリ動作/フィラメント直接３Ｄ観察(C-AFM/SSRM)
先端抵抗変化メモリ先端抵抗変化メモリ（ReRAM）
抵抗変化層内のフィラメント形成観測や動作フィジビリティー検証フィジビリティー検証をした事例です。
SSRM
世界トップレベルの空間分解能
同様に活性化不純物を評価できるSCM（走査型容量顕微鏡）と比較しても、より高い空間分解能を有します。最先端の極微細構造においても、シャープなｐｎ接合境界のマッピングが可能です。
SSRM
市販および独自標準試料による定量化 標準試料データ
市販の標準試料に加え、独自標準試料を用いた校正を用いて計測の確かさを検証しています。構造デザインやキャリブレーションよりデータの信頼性向上にを努めています。
SSRM
Imaging of conformal doping in 3D structures
PD 3D conformal PD doping at top, sidewall and bottom with equal thickness
Beamline: less doping at sidewall and bottom
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